国内6个重点大硅片项目最新进展盘点

原前进:国际6个重读大硅片项目最新设计查核

支持

创始:灵来自某处亚洲商议。,谢谢你。

受保险单支持和市场需求驱车旅行。,多家行业在柴纳积极的规划半导体大硅片项目。直到2018年10月,亚洲商议公司审察了这6个键入项目的设计使适应和详细资料。。

杭州中芯晶圆大次元硅片项目

10月8日早上,总投资额达10亿一元纸币的杭州中芯晶圆大次元硅片项目正式成功学科创作封顶任务。接下来,厂子将敏捷地进入装修。、机电匹配安顿破土阶段,民用建筑无望在年内结束。,并于2019年4月入伙运用。。

杭州SMIC晶圆半导体股份股份有限公司,日本 Holdings、杭州大和热工电子股份有限公司、上海沈鹤热电子股份有限公司使译成合资行业。,就座杭州东部,注册资本29亿元。,底板面积超越10000平方米,车间面积约15万平方米。。

该项目企图修建3十二分之一(200毫米汞柱)、2 12十二分之一(300mm)半导体硅片腰围,个人财产这些都将被使摆脱。,将区域8十二分之一年产540万片、12十二分之一年产288万片半导体硅片的功效。close的现在分词形式后,8十二分之一硅片腰围将是柴纳最大的、最时代的腰围,12十二分之一硅片腰围将译成第东西消费L。

金瑞泓120万片每年8十二分之一内涵片项目

金瑞泓科学与技术(衢州)股份有限公司投资额70418万元,在衢州绿色勤劳集聚区,新增自船上卸下约100亩。,新建车间及补助容易。项目分阶段器械,一期器械60万片/年内涵片腰围,生料减低硅片,非自身消费;二相60万胶片/年延伸腰围,常备的减低晶圆(包罗东西相)是自产的。,常备的为重磷掺杂直拉硅单晶。

首要容易:5伸长炉、晶圆洗涤机1套、1套箱式洗涤器、洗钟机1台、30单晶炉、5台洗涤器。、2台下料压力机、2辊机、线分割7套、机关洗涤器1台、切面机5台、2磨床、圆盘洗涤机1台、腐败蚀机1、1种喷砂设备机、喷砂设备整理机1套、3热活动炉、SiO2边界剥离器1套、志愿地洗涤机1台、边界减低机1台、2减低机、一台洗涤机1台。、1套箱式洗涤器、终极洗涤机1等。。

项目优势:

1。笔者发现了单晶炉T的使筋疲力尽设计作品。,急切地抓住了8十二分之一低COP和无COP的使筋疲力尽晶体成长技术。。本项目常备的为重磷掺杂直拉硅单晶。

2。急切地抓住高平8十二分之一晶圆减低技术。、Gao Jie有去污作用的硅凿洗涤技术及缺陷工程,硅凿的若干决定因素和外观颗粒样品,首要目标:SFQR<,TTV<。

三。主8十二分之一大直径硅片内涵技术,大直径硅片造成高厚度、高电阻系数平坦的性资格与热应力把持。急切地抓住了电阻系数以内Ωcm的8十二分之一重掺硼衬底无失配(misfit)内涵技术,该技术具有鞭打引导的技术程度。。

4。硅延腰围出口意大利出口腰围。,在国际上属于上进程度。,并设备氢污染。、硅源气温把持、穿透气处置、辅佐容易如高纯气态流体保送。。

5。侦探、辨析某方面,设备上进的汞探头测试员、红外测试员、无危害年龄段试验机、四取样器测试员、硅外观粒子细查者等。。

6。钱经过封闭系统保送。,最重要的把持。

上海新昇12十二分之一硅片项目

上海新昇半导体科学与技术股份有限公司12十二分之一大硅片项目就座浦东新区临港重设备园区,项目第一期入伙18亿元。,设计才能为15万片/月的12十二分之一硅片,估计一年间的电子级多晶体硅运用量为450吨,它曾经入伙运用。。

项目优势:

1.本项目所运用的技术均来自某处上海新昇打开的技术然后引进使分开键入核心技术,在消费容易和机具的选择中,有HI的容易,使跌价能耗。

2。上海将找到全部时间探讨与开发机关。,前、后段的术语零件为:、容易、堆管理和买卖健全的率惠顾探讨和打开任务。

三。上海再生已与百里挑一的S和U的K结束在议定书中拟定。,三方结构探讨与开发同胎仔。,联合打开和改善我公司的各式各样的晶型提拉炉。同时上海新昇的探讨与开发同胎仔还将对“回火炉和外观处置炉”等键入技术和容易持续探讨与开发。

眼前,该项目已入伙运转。,买卖曾经过华利微电子证词。,SMIC等行业的证词任务仍在举行中。。

西安易思威硅勤劳基地项目

西安奕斯伟硅片技术股份有限公司使译成于2018年2月,是奕斯伟科学与技术股份有限公司(ESWIN)在西安使译成的硅钱创造公司。项目投资额30亿元。,就座长安交通工业区。,设计每十二分之一5万片生产率12十二分之一的硅片。估计从开端到手术21个月。,2020年6月入伙运用。

项目优势:

1。在晶拉某方面,采取粹晶拉炉,设备32十二分之一气温场,整枝超导磁场把持熔体对流,单位错硅棒的无位错整平。

2。硅片活动技术采取最上进的机关平衡匹配,使获得硅片分割堆,德国减低容易的使成形,确保硅片外观若干构成契合ADVAN的资格。

三。洗涤容易选模式。,最好的日本洗涤容易将被选中。,最上进的洁净间设计、供电与消费把持,硅片上残留颗粒的去除。

4。内涵术语,美国粹伸展容易,该匹配能灵验地增加内涵Gr达到目标原子静悄悄的流水。,使获得内涵膜的堆。

郑州合晶硅片项目

郑州合晶硅钱股份有限公司使译成于2017年2月,是由台湾合晶科学与技术集团次要的的上海合晶硅钱股份有限公司和上海晶盟硅钱股份有限公司协同贡献的组织,投资额12亿元在郑州机场节约合成试验区构造年产240万片200mm硅单晶减低片消费项目。台湾晶晶科学与技术集团是全球第七个硅片补充者,它也鞭打三强低阻硅凿补充者。,翻书到半导体硅片勤劳已有20余年。

本项目设计消费200mm轻掺硅单晶减低片(轻掺硼、轻掺磷)120万片/年;200mm重掺硅单晶减低片(重掺硼、重掺磷、重掺砷、重掺锑)120万片/年,每年约消费300万吨电子级多晶体硅。

项目优势:

1.采取上进的直拉法长晶技术,长晶要求不变,可得到电阻系数及掺质散布平坦的的优质单晶。

2.使用上进的气体洒上直拉技术,即在晶体成长内心充入惰性气态流体,使其压力大于熔体的使消释压力,以压制熔体中挥发性组元的挥发丢失。

3.运用有去污作用的的面洗涤电子级多晶体硅常备的,从源头增加传毒物的发生。

4。采取上进的槽口。、磨、抛撒包装技术,确保买卖堆和健全的的性能目标。。

5。项目达到目标长颈鹿、熔炉、黑铅烘房、拍电报下料压力机/拍电报、磨床及补助成分选自外面上进工具。

6。运用能量守恒容易使跌价能耗。,并采取志愿地把持技术。,繁殖了消费志愿地化程度。

安徽易芯年产160万片12十二分之一半导体硅片项目

安徽易芯半导体公司年产160万片12十二分之一半导体硅片项目,位就座合肥市新站区佳海工业园,一期项目总投资额8900万元构造年产96吨12十二分之一半导体级单晶硅棒,每年约消费吨电子级多晶体硅。

项目优势:

1.本项目所运用的技术均来自某处安徽易芯打开的技术然后引进使分开键入核心技术,在消费容易和机具的选择中,有HI的容易,使跌价能耗。

2.一期项目单晶硅棒消费过程中运用的常备的首要为免洗多晶体硅,修整外形剂有母铸成合金(首要是硅)。,容量有去污作用的消费的资格。回到搜狐,检查更多

责任编辑: